美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導體零部件的供應商，在氣體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術獨到之處，美*機儀器MKS INSTRUMENTS產品起源于壓力測量和控制核心技術，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術，其產品廣泛地應用于各種半導體生產設備和制造過程中。上海MKS經銷專業供應美國MKS流量計 美國MKS薄膜真空計 美國MKS傳感器 美國MKS流量控制閥 美國MKS壓力開關代表型號：AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645,LIQUOZON,NOVA-25,NOVA-50,SPECTRUM B5002, SPECTRUM B11002,ACG-3B,ACG-6B,ACG-10B,GHW-12,GHW-25,GHW-50,SPECTRUM 3013,SUREPOWER QL3513.....

閥門

MKS是一家的高可靠性，高精度不銹鋼真空隔離閥和壓力控制閥。MKS系列真空隔離閥，波紋管和球閥，手動，氣動和電動氣動執行機構閥門在加熱或不加熱的角度和內嵌的配置，安全切斷閥和軟啟動閥。我們的壓力控制閥生產線包括擺，蝴蝶，葉片和閥芯節流閥集成控制子系統。

壓力/真空測量的Baratron®直接壓力/真空電容壓力計 HPS®真空傳感器，儀表，傳感器和控制器

MKS是壓力和真空測量領域的。在的MKS家庭的壓力和真空測量儀器的Baratron®電容壓力表，壓力傳感器，壓力開關，壓力控制子系統，真空壓力表，真空壓力傳感器，真空壓力表控制器。

殘余氣體分析/質譜法RGA原位過程監測，泄漏檢測與分析

RGA在原位過程監測

MKS 質譜氣體分析儀產品創新的原位過程監測儀器*集成的，應用程序特定的軟件包，包括成分的殘留氣體分析儀（個RGAs），網絡功能的RGA的分析設備和工藝的RGAs和控制軟件。

• 真空監測和電子診斷
• 超高真空（UHV）
• CVD過程
• 真空基線RGA
• 離子注入
• 光致抗蝕劑檢測
• 高壓RGA
• PVD
• 蝕刻
• 擴散
• 轉移室監控
• 泄漏檢測
• 大氣壓力氣體分析

FTIR，NDIR紅外氣體分析儀器

FTIR（傅立葉變換紅外）和NDIR（非色散紅外）實時的時間和在線氣體分析儀器從MKS儀器能夠為多個氣體種類，包括NF ₃，NH ₃，H ₂，NO和N ₂個ppb到ppm靈敏度O和高達30％的水與氣體。

GLM™-2000 少數載流子壽命監視器真穩態少數載流子的壽命（Gtau），光導率的上升和衰減及薄膜電阻
 

放大

GLM™-2000少數載流子壽命監控器是一種精密儀器，采用了的變壓器耦合光電導方法，同時測量真穩態少數載流子的壽命（Gtau測量），光導率的上升和下降及薄膜電阻。這需要現有的業界*的計量方法，并結合高速電子固態照明技術，噪聲抑制，以及強大的的食譜驅動軟件是一個工具，操作方便，簡單易懂，和可重復的結果導致。

用于晶體硅光伏電池的硅的質量有直接的影響的質量，或轉換效率，（太陽能電池）的zui終產品。我們的目標是盡可能多的入射能量，或載體轉移，電路的輸出或細胞。做到這一點，在一部分中，通過zui小化任何重組的載體。電信運營商重組，當他們接觸過的缺陷或雜質的硅。重組時間從細胞的電勢輸出電流。

少數載流子壽命測量，是一種定量評估的基礎硅的質量，因為較低的少數載流子壽命是在硅中的雜質和缺陷的跡象。此外，測量薄層電阻和光電導衰減（PCD）進一步提供對表面復合的影響的信息，并作為切割檢查通過ARC沉積的光伏電池的制造過程中的質量從。

控制系統，工業自動化控制器，嵌入式Analytics（分析），I / O，網關，緊湊型PCI網絡監視器，工業以太網，以太網/ IP和DeviceNet，Profibus，Modbus總線，EtherCAT中，CAN，Linux的，HSMS，SECS，接口

新的特色產品：ECM2控制平臺。

先鋒產業平臺，控制，通信協議和網關技術，MKS的關鍵組成部分和經驗，為分布式控制和過程監控為我們的客戶提供的技術，個性化他們的具體要求。此外，商業“現成的”產品使我們的客戶能夠快速部署的解決方案，通過易于使用的平臺。

MKS Instruments公司的控制和自動化產品團隊可以幫助您定義，設計和制造下一代控制器。我們專注于提供的高密度混合I / O以zui快的現場總線網絡技術相結合，為您帶來一個控制器，這將節省您的成本比當前解決方案，將大大減少你的時間，市場。

現場總線

以太網現場總線控制器連接到您的網絡正在改變。EtherCAT技術的DeviceNet™，以太網/ IP™，PROFIBUS，MODBUS-TCP，可以打開網絡所支持的MKS Instruments公司的成套控制產品。

混合高密度I / O

MKS Instruments公司的控制產品包含混合I / O，讓您以在市場上每點的高密度。高分辨率和高度的模擬和數字I / O，加干觸點繼電器和溫度的I / O控制器建立一個靈活的環境，你所需要的具體規格。

嵌入式邏輯

MKS Instruments公司的產品支持PLC IEC61131-3標準，以及MKS'的自己cLogic®嵌入式應用程序。這些平臺讓你寫你的梯形圖，功能塊圖，結構化文本和ANSI C控制算法，同時給你zui大的靈活性和功能。我們的應用工程師寫的一些常見用途的范例程式碼（PID，PWM，計數器等），所以你不必。

RTOS和Linux操作系統

MKS Instruments公司的控制和自動化產品套件可與實時操作系統（RTOS）和Linux操作系統平臺。